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MFS2200D

实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!

大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动态范围:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室

  • 特点
  • 外形尺寸
  • 支持
  • 相关产品

适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。


项目 规格
名称 MOTOMAN-MFS2200D-3600
机型 YR-MFS050D-A00
构造 水平多关节形(6个自由度)
负载 50kg/手臂
重复定位精度*1 ±0.2mm
动作范围 U轴(上下轴) 3600mm
S轴(回转轴) -180.5°~+180.5°
L,R轴(前后轴) -1780mm~+1780mm
左右运作 -50mm~+50mm
扭动运作 -6°~+6°(上下轴100~1750mm范围)
-0.5°~+0.5°(以上范围以外)
最大速度 U轴(上下轴) 950mm/s
S轴(回转轴) 1.57rad/s,90°/s
L,R轴(前后轴) 最大3600mm/s
容许力矩 L,R轴(前后轴) 353N·m
容许惯性力矩(CD2/4) L,R轴(前后轴) 71kg·m2
标准喷涂色 孟塞尔munsell N9.5
本体质量 2430kg
洁净度*2 ISO4
安置环境 温度 15~25°C
湿度 20~80%RH(不结露)
振动 4.9m/s2以下
其他 ·环境没有引火性及腐蚀性气体,液体
·远离水
·远离电子噪音源
·安装机器人水平面水平度在0.5mm以下
电源容量*3 12.0kVA

*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。

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